Основна опрема аутоматизоване производне линије за чишћење ПР-а за произвођаче ЛЦД екрана
ПР (фоторезист) аутоматизована производна линија за чишћење је основна опрема за мокри процес у производњи ЛЦД екрана. Првенствено се користи након процеса фотолитографије на подлози низа за темељно уклањање заосталих фоторезиста, остатака јеткања и површинских микро-загађивача. То је кључна опрема за осигурање прецизности кола панела и побољшање приноса производа. Савршено прилагођен строгом производном окружењу чисте собе класе 100, постиже високу{5}}прецизност, аутоматизацију и{6}}затворене- операције чишћења без загађења.
Циљајући на остатке позитивног и негативног фоторезиста након процеса фотолитографије, користи више-фазно ултразвучно чишћење + процес испирања преливом чистом водом како би се дубоко уклонили остаци, органски загађивачи, честице прашине и друге нечистоће преостале након фотолитографског нагризања. Може темељно да уклони микроскопске остатке испод 0,5 μм, спречавајући дефекте као што су отворени кругови панела, светле тачке и мрље Мура узроковане нечистоћама. У комбинацији са 0,1 μм високим{6}}системом за прецизно филтрирање, спречава секундарну контаминацију. Постиже темељно уклањање-без оштећења, избегавајући утицај заосталих слојева лепка на накнадне процесе нагризања и облагања, са стопом покривености уклањања од 100%.
Уграђени-ЕСД електростатички контролни модул стриктно контролише електростатичку вредност у опсегу мањем од или једнаком ±100В. У комбинацији са анти-статичким материјалом са шупљинама и технологијом без-достављања магнетних точкова без контакта, избегава електростатичко пражњење од оштећења прецизних кола панела, док такође спречава огреботине, ломљење и стварање прашине од трења на стакленој подлози, чиме се максимизира заштита интегрисане подлоге.
Комора за испитивање високе и ниске температуре константне температуре
Језгро опреме аутоматизоване производне линије за чишћење и сушење за произвођаче ЛЦД екрана интегрише двоструки режим сушења: сечење ваздушним ножем и сушење врућим ваздухом при константној-температури. Ово брзо уклања мрље од воде са површине подлоге, постижући сушење-без воденог жига и{3}}без трагова. Након сушења, садржај влаге на површини подлоге приближава се нули, омогућавајући директан пренос на следећи процес без секундарне обраде, обезбеђујући континуитет процеса. ПЛЦ контролни систем омогућава потпуно аутоматизовано-затворене операције утовара, позиционирања, чишћења и истовара. Подржава-надзор у реалном времену и функције аларма за подешавање концентрације раствора за чишћење, температуре, влажности и чистоће. Запечаћена комора и дизајн са градијентом негативног притиска спречавају цурење хемијског гаса. У комбинацији са окружењем позитивног притиска чисте собе класе 100, такође омогућава рециклирање ултра чисте воде и класификацију отпадних течности и опоравак, испуњавајући захтеве за{12}}уштеду енергије и заштиту животне средине.
У поређењу са традиционалним ручним чишћењем, потпуно аутоматизоване производне линије за чишћење ПР-а имају незаменљиве предности: ефикасност чишћења је повећана за више од 3 пута, а скоро 10.000 стаклених подлога се може обрадити по смени, што значајно скраћује процесни циклус; конзистентност чишћења је одлична, темељно уклања микро-остатке мање од 0,5 μм, контролише стопу дефекта панела на 0,5 ППМ, ефикасно избегавајући дефекте као што су светле тачке, тамне тачке и прекиди струјног кола на екрану; опрема има дизајн -уштеде воде и енергије{7}}, са високом стопом поврата чисте воде и класификованим прикупљањем и третманом отпадних вода, испуњавајући захтеве производње за заштиту животне средине; цела машина је направљена од ПВЦ-а-отпорног на корозију и нерђајућег челика СУС304, са јаким заптивачем, лаким чишћењем и одржавањем, и погодна је за 24-непрекидан рад у чистим просторијама, постајући стандардна опрема за произвођаче ЛЦД екрана за прављење врхунских линија производа и повећање конкурентности.
Основна опрема у фотолитографској радионици произвођача ЛЦД екрана
Опрема за експозицију је основна опрема у фотолитографској радионици и кључна процесна област у процесу производње ЛЦД низа. Такође познат као машина за литографију панела, то је-прецизан оптички уређај за мокри процес. Његова главна функција је да пренесе шаблон дизајна кола супстрата на стаклену подлогу обложену фоторезистом путем оптичке експозиције, што је кључно за формирање микро-кола у панелу. Прецизан пренос шеме кола са фотомаске на стаклену подлогу је предуслов за накнадне процесе јеткања, облагања и ПР чишћења, директно одређујући квалитет екрана. Опрема користи бесконтактни процес излагања, погодан за велике- танке ЛЦД стаклене подлоге, избегавајући огреботине, оштећења и контаминацију подлоге.
Кључни технолошки детаљи укључују високо{0}}прецизан систем поравнања са микронским-нивоом или чак под-микронским-тачношћу преклапања, обезбеђујући нулту неусклађеност у више-слојном слагању кола са грешкама контролисаним до неколико хиљадитих делова пречника власи; коришћење извора светлости уједначене експозиције и технологије динамичког фокусирања да би се постигле флуктуације енергије експозиције од<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Цела радионица користи монохроматски жути извор светлости од 589 нм, потпуно филтрирајући светлост кратке{1}}таласне дужине као што је ултраљубичасто, плаво и бело светло, спречавајући да ови зраци прерано покрену фотохемијске реакције у фоторезисту, узрокујући фаталне дефекте као што су неусклађеност шаблона, некомплетне линије и кратки спојеви. Систем осветљења користи комбинацију наменских жутих ЛЕД диода и двослојних-филтера да би спречио цурење залуталог светла; врата, прозори и прозори за посматрање су опремљени анти-ултраљубичастим филтерским материјалима; мобилни телефони, камере, јаке{5}}батерије и други спољни извори светлости су строго забрањени у радионици, а контрола дисциплине светла у целом простору се примењује како би се елиминисао ризик од превременог излагања фоторезиста из извора.
Увод у чисте собе класе 100 за произвођаче ЛЦД екрана
У области високо{0}}прецизне производње ЛЦД-а, чисте собе класе 100 (чисте собе ИСО класе 5) су основни производни погон и кључни показатељ техничке снаге произвођача и приноса производа. Они се широко користе у основним фазама процеса као што су низ, монтажа ћелија и паковање модула од стране водећих компанија за приказивање као што су БОЕ, ТЦЛ ЦСОТ, ХКЦ и Тианма. Ове чисте собе имају строге стандарде чистоће, са не више од 100 суспендованих честица прашине пречника већег или једнаког 0,5 μм по кубној стопи ваздуха (мање или једнако 3520 по кубном метру). Овај ниво чистоће далеко превазилази онај у медицинским операционим салама, служећи као „тврда баријера“ за спречавање прашине, статичког електрицитета и хемијских загађивача да ометају прецизне процесе. То је основна хардверска компонента која директно одређује квалитет слике екрана, животни век и стопу приноса.
Радионица је пројектована и изграђена стриктно у складу са међународним и домаћим стандардима ИСО. Усваја режим вертикалног једносмерног протока ваздуха, заједно са четворостепеним УЛПА системом филтрације (пред-филтер, средње-филтер, филтер високе{4}}ефикасности и ултра-високо{6}}ефикасни филтер), постижући и тренутну ефикасност уклањања99% до 99% од тренутног уклањања. елиминисање мртвих зона протока ваздуха. Истовремено, прецизна контрола животне средине се постиже у свим димензијама: константна температура од 23±1 степен, релативна влажност контролисана на 45%-55%, стање позитивног притиска који се одржава у чистој области и разлика притиска већа од или једнака 10Па између суседних области, потпуно спречавајући инфилтрацију спољне прашине; с обзиром на подложност дисплеја електростатичким оштећењима, користи се анти-статички епоксид самонивелирајући подови{17}}, а за зидове и плафоне се користе 304 челичне плоче од нерђајућег челика и чисте собе, уз стриктну контролу вредности статичког електрицитета током целог процеса; обезбеђена је додатна контрола за ВОЦ хемијске загађиваче на молекуларном- нивоу и латентне сметње као што су микро-вибрације, испуњавајући захтеве процеса наноразмера као што су фотолитографија, таложење танког филма и убризгавање течних кристала.
Радионица усваја вишеслојни дизајн зонирања чистих просторија, подељен на основну област класе 100, тампон зону класе 1000 и помоћну зону класе 10.000, са слојевима који спречавају унакрсну-контаминацију, а линије за особље и аутоматизоване транспортне траке су потпуно одвојене. Особље мора проћи троструки процес пресвлачења, туширања ваздуха и детекције електростатике, и може ући само након што носи комплетно-одело за чисту собу, рукавице без прашине-и заштитне наочаре; материјали се преносе кроз међусобно закључане прозоре за пренос и пролазе кроз третман уклањања прашине и статичког електрицитета; унутрашњост је опремљена поклопцима за ламинарни проток ФФУ, онлајн бројачима честица, сензорима температуре и влажности, мониторима диференцијалног притиска и другом опремом за постизање 24-часовног праћења у реалном времену и следљивости података, и одмах ће издати упозорења и извршити прилагођавања у случају абнормалних индикатора како би се обезбедила стална стабилност животне средине.
